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ザイベックス
nProber
 
ナノマニュピレータ

nProberは半導体ダイ上で100nm以下の超微細エリアコンタクトに最適にデザインされています。システムはナノマニュピレータ/プローバ、FEI Quanta 200 FEG システム、DC&RF測定器、電子顕微鏡、チャンバー自動クリーニング装置、またそれぞれをコントロールするカスタマイズソフトウェアから成り立ちます。



nProberは従来のプロービングシステムと比べ格別に処理能力が高く、即プロービングに適しています。セミオートメーションシステムは6つのポジショナー(最大8つ)、またセンターに位置する台はXYZ方向に稼動可能で効率アップ可能です。

わかり易い、ポイント&クリックによるプローブの位置づけ。
ステージとポジショナは±1μmの精度になっています。
 
■アプリケーション
Electrical characterization for device quality or failure analysis.
- 4, 6, and 8-point probing.
- Contact-level probing.
- Metal 1-level probing.

  • Nanostructure/nanomaterial/nanointerconnect R&D.
  • Surface science experiments.
  • Assembly and manipulation.

 
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