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ザイベックス
sProber
 
ナノマニュピレータ

sProberは半導体デバイス上で100nm以下の超微細エリアコンタクトに最適にデザインされたプローブシステムです。システムはナノマニュピレータ、パラメトリック解析、汚染防護システム、またそれぞれをコントロールするカスタマイズソフトウェアから成り立ちます。



sProberは汎用性あるようにデザインされているので、お客様が既にお持ちのSEMやFIBへの取り付けも可能で、取り付け、取り外しも簡単です。 システムは5nm分解能のポジショナが4つ設置されており、ユーザーは高精度ジョイスティックによりこれらを通して、プローバを動かし、またユーザーフレンドリーなソフトウェアの画面を通して、高精度なコントロールが可能です。 センターに位置する台は、より高い処理能力、より良い使いやすさの為、Z方向に動かすことが可能です。
 
■アプリケーション

  • Electrical characterization for device quality or failure analysis.
    - 4 point probing.
    - Contact-level probing.
    - Metal 1-level probing.

  • Nanostructure/nanomaterial/nanointerconnect R & D
  • Surface science experiments.
  • Assembly and manipulation.

 
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