sProberは汎用性あるようにデザインされているので、お客様が既にお持ちのSEMやFIBへの取り付けも可能で、取り付け、取り外しも簡単です。
システムは5nm分解能のポジショナが4つ設置されており、ユーザーは高精度ジョイスティックによりこれらを通して、プローバを動かし、またユーザーフレンドリーなソフトウェアの画面を通して、高精度なコントロールが可能です。
センターに位置する台は、より高い処理能力、より良い使いやすさの為、Z方向に動かすことが可能です。
■アプリケーション
- Electrical characterization for device quality or failure analysis.
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4 point probing.
- Contact-level probing.
- Metal 1-level probing.
- Nanostructure/nanomaterial/nanointerconnect R & D
- Surface science experiments.
- Assembly and manipulation.
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