100A測定 『男プローブ』 2008年11月 発売開始！
PFM <Probe For Men>
■ 高電流・高電圧 ウェハー・チップ測定用プローブ
| ・最大電流 : |
100A / head * |
| ・最大電圧 : |
2kV / head * |
| ・PFMプローブの先端径（種類） |
70um, 90um, 100um, 150um, 200um, 300um, 400um, 500um… |
| ・PFMプローブの針圧（グラムフォース種類） |
5g, 8g, 10g, 12g, 15g, 20g, 30g… |
| ・PFMヘッドに最大で5枚刃 (5 Blades) 搭載 |
| ・どのプローバにも搭載可能 （ポジショナー・カード式等） |
| ・PFMプローブの先端は安価でメーカ交換可能 |
* 最大電流・電圧の仕様は先端径や針圧、刃の枚数によって変わります。
■ 男プローブ開発の背景
周知の通りウェハー上で5A〜100Aもの高い電流での測定は困難が伴います。上図のようにプローブに流すことができる最大電流を越えると、スパーク、トーチ、溶接などプローブが破壊され測定続行が不可能になります。
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そこで弊社では、上の問題を解決しつつ、既存のテスターやプローバーを活用しながら測定最大電流、電圧をあげたいという要望に応えるため、新しいコンセプトのプローブを開発いたしました。
それが 『男プローブ』 です。 |
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■ PFMプローブのパッドレイアウト例 ( * RTD : Recommended Tip Diameter )
TIP = 1 Blade / RTD = 70umΦ
TIP = 2 Blade / RTD = 70umΦ
TIP = 5 Blade / RTD = 100umΦ
■ PFMプローブプローブカードタイプのレイアウト例
■ 弊社のご案内
弊社は、ソフトウェア開発を軸に測定システムのインテグレーションやユニークな装置販売を幅広くおこなっております。
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