半導体薄膜、シリコンウエハ、太陽電池、フラットパネル薄膜の「抵抗率・シート抵抗測定器」- 株式会社ティアテック
Tiatech - Rock the Technology
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半導体薄膜、シリコンウエハ、太陽電池、フラットパネル薄膜等、
抵抗率・シート抵抗測定システム
4深針法による抵抗率・シート抵抗測定システム
測定サンプルに合わせて、ステージのサイズや形を選ぶことが可能。
また、特殊な形状をしたサンプルでも、専用冶具をお作りして対応可能。
お客様に最適な抵抗率測定システムをご提案いたします。
抵抗率測定用プローバ
抵抗率測定用プローバ
【特 徴】
ステージサイズ:6〜12インチ
角型、丸型とサンプルに合わせてステージ形状を選択可能
幅広い測定サイズ(1200mm x 1200mm等)カスタムにも対応可能
簡易マニュアルステージからセミオート、フルオート等、お客様のご要望にお応えします。
 
 
測定器
測定器
【特 徴】
KEITHELY、Agilent等メーカーにこだわらずお客様の測定レンジに合わせてご提案
安価な中古機にも対応
お手持ちの測定器の流用も可能
 
 
4ポイントプローブ
4ポイントプローブ
【特 徴】
材質:タングステンカーバイト、BeCu(金メッキ)等
プローブピッチ1.02, 1.27, 1.59mm 等選択可能
上記以外のピッチや、材質、特殊形状のプローブもご相談ください。
 
 
ソフトウェア
ソフトウェア
【特 徴】
シート抵抗率、体積抵抗率を自動的に算出
デバイスへの過剰な電流印加リミット機能
抵抗率以外の測定(IV試験、抵抗測定、信頼性試験)も可能
様々な測定器をGPIB・Serialなどで制御可能、可能対応ドライバがあるかお問合せください。
 
 
お客様に最適なシステムを提案いたします。
まずは下記よりお問合せください。
 
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