使い易い4200-SCS半導体特性システムは、研究室レベルでのDCデバイス特性、 リアルタイムでのプロッティング、サブフェムトアンプの解像度と高精度での解析が 可能です。完全な組込型PCによる大容量記憶などを始め、高度な機能を提供します。 また、多様な信頼性テストにも対応可能! ユニークなリモートプリアンプ構造により、SMU の分解能を 0.1fA に拡張可能です。 ケースレー統合テスト環境(KITE)によりハードウェアが制御可能で、GPIBアドレスを 設定するだけで、外部機器との互換性もバッチリ。
 

■MSRシステムソフトウェア

• 汎用測定（故障解析、特性評価）
• ナノテク研究（微小電流、微小電圧）
• High k 材料（マルチ周波数CV、チャージポンピング）
• Low k 材料
• ホール効果、Van der Pauw 抵抗率測定
• 銅配線（微小電圧）
• Onアンプ特性評価（多チャンネル）
• RFIC、高パワーMOSFET
  バイポーラ接合トランジスタ（高パワー印加測定）
• デバイス信頼性、寿命試験（HCI、NBTI、QBD、EM