パワーデバイスの信頼性及び評価試験をチップ（ウェハ） レベルでやりたい！！という様々なお客様の強い要望から FAT Probeは生まれました。
本システムの最大の特徴として挙げられるのが大電流の分配 技術であるカレントリミッターシステム（FAT Probe Test Head） です。大電流での測定時にプローブニードルやチップまたは 測定器に対しても破壊することなく、安全に測定をする上には 必要不可欠な技術であります。

■チップレベルでの測定における問題点

• プローブカード（ニードル）の問題点
  →ニードルへ流すことの出来る電流量について
  →ニードルでのスパーク現象、低電流でもスパーク発生
• 大電流分配における問題点
  →寄生抵抗成分のバラつきによる電流分配のバラつき
• 測定回路の持つ寄生成分の問題点
   
  

  ↑これらの問題をFATProbeは解決します。

■システムブロック図

■システム仕様

• 測定仕様
  試験電圧：最大2200Ｖ、試験電流：最大200Ａ
• 測定項目
  

  AC試験	DC試験
  →アバランシェストレス試験	オン抵抗、閾値電圧、リーク電流、オフ耐圧、オン電圧、etc...
  →L負荷スイッチング試験
  →RBSOA試験

• 試験温度
  →-40℃〜200℃まで対応可能