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マルチサイトでの同時測定により、コスト、精度の面からも試験効率アップ。MSR
423Kは最大8（ＳＭＵ）を軸に、オートプローバと大型マルチサイト対応 タイル型
プローブカードがソフトウェアとインテグレーションされたシステムです。TDDB測定
DUT数は最大100DUT まで、HCI/NBTI測定DUT数は最大100DUTまで測定可能。
ハード／ソフトの内容をお客様と一緒に考え、現在ある仕様を作り上げていく事に
よってお客様の持つ「独自技術」を全面的にサポートします。
■MSRシステムソフトウェアTDDB、HCI、NBTI、EM等を主として、その他にもパルスを
駆使したSOI用Pulse-IV、High-K/Low-K対応のチャージ
トラッピングフリーPulse-IV、Charge Pumping、CV測定、
その他各種の特別な測定に対応、カスタマイズ可能な
インターフェイスを搭載しました。
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