VNAは〜13.5GHz、〜20GHz、〜40GHz、〜50GHz、〜65GHzと５種類からお客様の用途に合わせて選ぶことが出来ます。DC Biasユニットは最大200Vを備え、電圧の印加のみならず電流測定、電流印加の電圧測定をもこなします。また、YS-RFxはそのウェハーや試料大きさによってxの値を変え利用できます。40mm角用、100mm角用、〜4インチウェハー用、〜6インチウェハー用等を多種に取り扱っております。また、RFポジショナーはアームの交換によりDC測定も可能になります。 これらをインテグレーションしたソフトウェア(HOTEI)は測定の設定、測定結果のグラフ、測定結果表示(Excel形式)が可能で、結果をネットワークを通じて保存も可能である。

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■コントロールソフトウェア

簡単な設定画面	Excelデータ	グラフ