セミオートプローバ/マニュアルプローバDC＆RFパラメトリック測定用セミオートプローブシステムです。プローブ及びチャックはケーシングにより高いレベルで遮光,電磁シールドされており、高精度なI-V,C-Vの測定に対応しています。 また高度な気密性により-65℃測定での非結露環境、+300℃測定での無酸化環境を実現します。操作はティアテック社作成のWMT (Wafer Mapping Tool）より完全に自動で行うことが可能になっております。また、KEITHLEY社製4200-SCSと組み合わせる事によりIV-CV-RF等のマニュアル／セミオートなシステムが技術者の要望に対して組みあがります。