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ProbiltTM PB3500はメモリー用プローブカードに代表される大型・多PINアレイに対応する唯一かつ理想的なプローブカードアナライザーです。
最大8インチ角のアレイをオーバーハングすることなく一括タッチダウンすることが可能です。（Zリフト耐荷重100kg）
またオプションのProbe Trackerを使用することにより不良プローブをTip Up状態で容易に特定することが出来、効率的なリペア作業をサポートします。
テスト項目
・プローブ位置精度/Aligment
・プローブ平坦度/Planarity
・針跡解析/Scrub Analysis
・先端径/Tip Diamter
・チップ深さ/Tip Depth
・接触抵抗/Contact Resistance
・リーク電流/Leakage
・ODリーク/Over Drive Leakage
・コンデンサリーク/Capacitor Leakage
・ワイヤチェック/Wire Check
・キャパシタンス/Capacitance
・抵抗値/ Resistance
・リレー/Relays
・針圧/Gram Force
・高温テスト/Hot Chuck（オプション）
■特徴
高速処理
- 競合機種の3倍の処理能力（Wire Checkは7倍のスピード）
- Pentium4プロセッサ，Windows2000/XP オペレーティングシステム
- テストプログラムは簡単に作成可能
高精度・高剛性ステージユニット
- XYZ全ての軸に0.1μm分解能リニアスケール搭載
- Z軸リフト耐荷重100kg
マザーボード
- MUXとの接続はケーブルレス
- マザーボード交換時に平坦度キャリブレーション不要
MUX（マルチプレクサー）
- 最大3,072ch 全チャンネルKelvin接続可能、全チャンネルリレードライブ可能
- MUXカードの組合せにより最大6000chに対応
高温テストに対応
- ホットチャック（オプション）によりMAX+125℃での高温テストに対応可能
■マザーボード
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ITCは下記製品を含むあらゆる主要メーカーのテスタータイプに対応したインターフェイス付マザーボードを設計製作しておりその実績は数百におよびます。
標準的なものは常時在庫しており、またカスタムレイアウトにも最短の設計期間・製作納期で対応いたします。 |
| ADVANTEST |
LM4，T2000，5377 |
Yokogawa |
AL6050 |
| Agilent |
V4400，V5400 |
Nextest |
Maverik,HD |
| Teradyne |
Integra/Flex/Tiger，J966 |
Schlumberger |
S9000，NX，KX |
| Credence |
K2，MT32，Sapphine |
Asia/Tact |
7332，7330 |
| その他多数 |
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■オプション
・Probe Tracker - Tip upリペア時の不良プローブ自動探索顕微システム
・ホットチャックシステム−+40℃〜+125℃までの高温テスト可能
・Tipクリーニングプログラム
・JMP拡張機能
・マシン稼動モニタリング
■対応規格
・NIST※ トレーサビリティ
・Semi S2-93，S2-93A セーフティガイドライン
・Semi S8-95 Ergo ガイドライン
・CE マーキング
・その他Standards
ANSI/RIA R15.06-1992 (Robotic Safety), NIST Q, ASTM 5, FCC 47,
EMC Directive 89/336/EEC, EN 50082-1:1992 (ESD),
EN 55022:1988 (Emissions), EN 60555-2:1992 (Harmonics)
EN 61000-3-3:1996 (Flicker)
※NIST：National Institute of Standards and Technology米国標準技術局
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