本ソフトは、オートプローバーやセミオートプローバーをKeithley 4200-SCS上で動作させるためのプログラムで、 UTMと連動して実行します。 本ソフトは、プローバーを選びません。お持ちのプローバーに合わせた提供が可能です。
 

■わかり易いユーザーインターフェース

	ホームチップ選択 ウエハーマップ上にピンク色で表示されているホームチップを移動します。
	テストチップ選択 テストするチップを選択します。選択されたチップは水色で表示されます。
	選択解除 一度テストチップとして選択したチップを解除します。
	チッププランダム選択 選択する数を決めて、チップランダムに選択します。
	チップの無効/有効切り替え ウエハーマップが作図された際に自動計算されたチップの有効/無効を変更できます。
	ウエハーマップイメージ保存 ウエハーマップのイメージをJPG形式及びBMP形式で保存することができます。

測定ウエハー選択	サブサイト入力

※1 ウエハースランダム選択機能有り
※2 ウエハースキャン機能で楽々ウエハー選択！！
 

■選べる形状

ウェハー	1/4 ウェハー	ガラス基板

■拡張版

■WMTシリーズ製品案内

• Wafer Map Tool WMT-TUFK420
  
• Wafer Map Tool WMT-E50K420
  
• Wafer Map Tool WMT-HSMIK420